
BSLtech Semiconductor Léisung
D'Entwécklung vun Ärer Expertise an der Hallefleederindustrie erfuerdert dacks Cleanrooms oder Laminarstromungsschränke mat enger héijer ISO-Klass (ISO 5 oder méi héich). Hutt Dir mat UV-sensiblen Prozesser ze dinn? Och dann liwwert BSL de passenden Cleanroom. D'Cleanrooms hunn eng héichqualitativ Wandveraarbechtung a si mat Beliichtung mat UV-Filter ausgestatt. Duerch d'Benotzung vun antistatischen (ESD) Materialien an antistatischen Leisten um Filtersystem neutraliséiert sech déi statesch Ladung an der Loft.
Wann Entgasung net erwënscht ass, bitt BSL e Cleanroom mat net-ausgasende Materialien (PU) un. Dës Technologie huet hiren Urspronk an der Loftfaartindustrie.
Typesch Prozesser an der Hallefleederindustrie:
● Schutz vu Substrater a Siliziumwaferen
● EUV-Fuerschung
● Maskenauligner
● Vakuumbeschichtung, Dënnschichtoflagerung
● Dréckapplikatiounen
● Optik
Frontend- a Backend-Prozesser