Schema fir sekundär Réckluft fir Klimaanlagen

Déi mikroelektronesch Werkstatt mat enger relativ klenger Reinigungsfläch an engem limitéierte Radius vum Réckluftkanal benotzt fir de sekundäre Réckluftschema vun der Klimaanlag unzepassen. Dëst Schema gëtt och dacks benotzt anpropper Zëmmerenan aneren Industrien, wéi zum Beispill Pharmaindustrie a Medizin. Well de Belëftungsvolumen, fir d'Ufuerderunge vun der Loftfiichtegkeet am proppere Raum ze erfëllen, am Allgemengen däitlech manner ass wéi de Belëftungsvolumen, deen néideg ass, fir den Niveau vun der Rengheet z'erreechen, ass den Temperaturënnerscheed tëscht der Zoulafloft an der Récklafloft kleng. Wann de primäre Récklafloftschema benotzt gëtt, ass den Temperaturënnerscheed tëscht dem Zoustandspunkt vun der Zoulafloft an dem Taupunkt vun der Klimaanlag grouss, dofir ass eng sekundär Heizung néideg, wat zu enger Offset vun der kaler Hëtzt am Loftbehandlungsprozess a méi héijem Energieverbrauch féiert. Wann de sekundäre Récklafloftschema benotzt gëtt, kann déi sekundär Récklafloft benotzt ginn, fir d'Sekundärheizung vum primäre Récklafloftschema z'ersetzen. Och wann d'Upassung vum Verhältnes tëscht der primärer an der sekundärer Récklafloft liicht manner empfindlech ass wéi d'Upassung vun der sekundärer Hëtzt, gëtt de sekundäre Récklafloftschema wäit verbreet als Energiespuermoossnam fir d'Klimaanlag a klenge a mëttelgrousse Mikroelektronik-Propretéitswierker unerkannt.

Zum Beispill eng ISO-Klass 6 Mikroelektronik-Propperwierksfläch, eng propper Wierksfläch vun 1.000 m2, eng Plafongshéicht vun 3 m. D'Innendesignparameter sinn Temperatur tn = (23 ± 1) ℃, relativ Fiichtegkeet φn = 50% ± 5%; de geplangte Loftzufuhrvolumen ass 171.000 m3/h, ongeféier 57 h-1 Loftaustauschzäiten, an de frësche Loftvolumen ass 25 500 m3/h (dovun ass de Prozessofzuchsloftvolumen 21 000 m3/h, an de Rescht ass positiv Drock-Leckageloftvolumen). Déi empfindlech Hëtztbelaaschtung an der propperer Wierksplaz ass 258 kW (258 W/m2), d'Hëtzt-/Fiichtegkeetsverhältnis vun der Klimaanlag ass ε = 35 000 kJ/kg, an den Temperaturënnerscheed vun der Réckloft vum Raum ass 4,5 ℃. Zu dësem Zäitpunkt ass de primäre Réckloftvolumen vun ...
Dëst ass de Moment déi am meeschte verbreet Form vu Reinigungsklimaanlag am Cleanroom vun der Mikroelektronikindustrie. Dës Zort vu System kann haaptsächlech an dräi Typen opgedeelt ginn: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Dry coil) +FFU. Jidderee vun hinnen huet seng Vir- an Nodeeler a passend Plazen, den energiespuerenden Effekt hänkt haaptsächlech vun der Leeschtung vum Filter, dem Ventilator an aneren Ausrüstungen of.

1) AHU+FFU-System.

Dës Zort Systemmodus gëtt an der Mikroelektronikindustrie als "d'Method fir d'Klimaanlag an d'Reinigungsphase ze trennen" benotzt. Et kann zwou Situatiounen optrieden: eng Situatioun ass, datt d'Klimaanlag nëmme mat frëscher Loft ëmgeet, an déi behandelt frësch Loft all d'Hëtzt- a Fiichtegkeetsbelaaschtung vum proppere Raum dréit a als Ergänzungsloft déngt fir d'Ofluft an de positiven Drockleckage vum proppere Raum auszegläichen. Dëst System gëtt och MAU+FFU-System genannt; déi aner Situatioun ass, datt de Volumen vun der frëscher Loft eleng net duer geet fir de Bedierfnes u Keelt a Hëtzt vum proppere Raum ze decken, oder well d'frësch Loft vum baussenzegen Zoustand bis zum spezifeschen Enthalpieënnerscheed vun der Taupunkt vun der erfuerderlecher Maschinn veraarbecht gëtt, ass ze grouss, an en Deel vun der bannenzeger Loft (gläichwäerteg mat Réckloft) gëtt an d'Klimaanlagbehandlungseenheet zréckgefouert, mat der frëscher Loft fir d'Hëtzt- a Fiichtegkeetsbehandlung gemëscht an dann an de Loftzoulafplenum geschéckt. Gemëscht mat der reschtlecher Réckloft vum proppere Raum (gläichwäerteg mat sekundärer Réckloft), kënnt se an d'FFU-Eenheet a gëtt se dann an de proppere Raum geschéckt. Vun 1992 bis 1994 huet den zweeten Auteur vun dëser Aarbecht mat enger singapurescher Firma zesummegeschafft a méi wéi 10 Graduéierter begleet, fir um Design vum US-Hong Kong Joint Venture SAE Electronics Factory deelzehuelen, deen déi lescht Zort vu Reinigungs-Klimaanlag a Belëftungssystem agefouert huet. De Projet huet en ISO Klass 5 Propperraum vun ongeféier 6.000 m2 (1.500 m2 dovun goufe vun der Japan Atmospheric Agency vertraglech vertraglech gemaach). De Klimaanlagraum ass parallel zur Propperraumsäit laanscht d'Baussenmauer an nëmmen nieft dem Korridor ugeluecht. D'Frëschloft-, Ofluft- a Réckluftréier si kuerz a reibungslos ugeluecht.

2) MAU+AHU+FFU-Schema.

Dës Léisung fënnt een dacks a Mikroelektronikanlagen mat verschiddene Temperatur- a Fiichtegkeetsufuerderungen a groussen Ënnerscheeder an der Hëtzt- a Fiichtegkeetsbelaaschtung, an den Niveau vun der Rengheet ass och héich. Am Summer gëtt d'frësch Loft op e fixe Parameterpunkt gekillt an entfeucht. Et ass normalerweis ubruecht, d'frësch Loft bis zum Schnëttpunkt vun der isometrescher Enthalpielinn an der 95% relativer Fiichtegkeetslinn vum proppere Raum mat representativer Temperatur a Fiichtegkeet oder dem proppere Raum mam gréissten frësche Loftvolumen ze behandelen. De Loftvolumen vun der MAU gëtt no de Bedierfnesser vun all proppere Raum bestëmmt fir d'Loft nei opzefëllen, a gëtt un d'AHU vun all proppere Raum mat Päifen no dem erfuerderleche frësche Loftvolumen verdeelt, a gëtt mat enger deelweiser Réckloft am Raum fir d'Hëtzt- a Fiichtegkeetsbehandlung gemëscht. Dës Eenheet dréit déi ganz Hëtzt- a Fiichtegkeetsbelaaschtung an en Deel vun der neier Rheuma-Belaaschtung vum proppere Raum, deen se bedient. D'Loft, déi vun all AHU behandelt gëtt, gëtt an de Plenum fir d'Zouloft an all proppere Raum geschéckt, an nodeems se sech mat der Réckloft am Raum sekundär vermëscht huet, gëtt se vun der FFU-Eenheet an de Raum geschéckt.

Den Haaptvirdeel vun der MAU+AHU+FFU-Léisung ass, datt se nieft der Garantie vun der Rengheet an dem positiven Drock och déi verschidden Temperaturen a relativ Fiichtegkeet garantéiert, déi fir d'Produktioun vun all Cleanroom-Prozess erfuerderlech sinn. Wéinst der Unzuel vun den AHU-Opstellungen ass d'Raumfläch dacks grouss, d'Frëschloft-, d'Réckluft- an d'Loftzufuhrleitungen am Cleanroom kräizen sech a brauchen e grousse Raum. Den Opbau ass méi problematesch, d'Ënnerhalt an d'Gestioun si méi schwéier a komplex. Dofir sinn keng speziell Ufuerderungen néideg, fir d'Benotzung sou wäit wéi méiglech ze vermeiden.